接触式静电压测试仪是一台高阻抗输入，低容抗输入的数字测量仪，真实测量静电电压，有体积小，携带方便和电池供电的特点。作为一台真实，实时测量静电电压的测量仪，它与静电场测量计明显的区别就是它的测量与静电场强度无关。仪器是集高输入阻抗、低输入电容特点于一体的易于使用的数字式电压表。测量施加电压的两板上的静电力的大小或由该静电力产生的某一极板的偏移（或偏转）该静电力产生的某一极板的偏移（或偏转）来放映所加电压的大小的表计。用于测量用于电力系统及电气、电子设备制造部门测量工频交流高电压和直流高电压。测量工频高电压时，测得的是电压的有效值。如静电计的测量精度高些，但只能适用于测量金属体的静电电压或电位。
接触式静电压测试仪是专为寻找和详细分析生产制造过程中的ESD问题及其根源而设计的。它可以直接测量导体的静电压而不会产生ESD事件和对器件造成损坏级别的射频干扰(RFI).此仪器适用于测量电子配件或部件的导体部分,从而进行分析,或预测可能的CDM失效问题.它也可以用于测量生产过程中的导体材料或材质物体或设备的静电压,以避免对ESD敏感器件产生MM失效问题。
接触式静电压测试仪测试中的注意事项：
测试过程中，一般情况下，不能直接对芯片进行静电放电。如有特殊需要，一定要对某芯片进行静电放电测试时，应尽量减小每次静电增加的幅度，这样可以更好的测试出防静电电压真实值的接近值，使测试更加准确。
测试过程中，为保障测试结果的准确性，每次静电放电结束后到下次静电放电开始前的时间间隔不能太小，要留给系统足够的恢复时间，即要留够系统电荷释放的时间，时间间隔一般为10秒钟。待系统电荷充分释放后,才能进行下一次测试。
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